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产品中心

Product Center

车间搬运—封测物流解决方案

设备组成

智能氮气柜、复合AGV

功能特点

自动存取、管理晶圆,自动上下料

核心价值

针对晶圆的三种载具,定制智能氮气柜、ARV。项目采用4台氮气柜和4台ARV,实现从晶圆来料到存储、磨划机台自动上下料、搬运管理全流程物流自动化。


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