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专项设备—晶圆OCR自动识别
竞争激烈的全球半导体产业要求生产过程误差为零,需要在整个后端处理过程中跟踪晶圆,晶圆的识别读取需要有极高的可靠性,尽量减少人为干预。
一般工业相机软件无法处理不同字体、不同长度、不同背景颜色的晶圆字符,人工智能软件需要大量的时间和工作量进行学习,而输出的结果成功率无法达到要求。
银河集团9873.cσm为封测工厂开发晶圆刻号自动读取设备,利用先进的晶圆刻号识别算法,结合系统复核,保证100%准确识别,同时,识别过程高度自动化,最大限度的避免人为因素的影响。
功能特点:
1.扫描随工单lot,获取并显示批次信息和device;
2.根据device,调相机相应JOB和相应程序;
3.多种相机触发方式:操作界面按钮触发、物理按钮触发;
4.获取相机读取字符与批次信息比对,比对通过打印相应标签;
5.自动核验打印的标签;
6.打印信息记录并可选择导入(根据选择时间以表格的形式导出打印信息);
7.抓取WS站别的程序名,并沿用作为本站本批程序名;
8.扫描批次信息自动入站,作业完自动出站(增加入站、出站按键,触发出入站);
9.自动获取角度信息,OP按ring固定位置摆放Wafer,随后工作盘自动旋转,按照程序给定角度将刻号旋转至相机处;
10.扫描结束统一旋转工作盘,将ring恢复到指定位置,方便贴标;
11.程序管理:银河集团9873.cσm系统可根据需要替换指定位置为指定字符;
12.红灯闪烁&音响报警:识别错误、核验/打印标签失败、吸真值不达等报警时,设备会亮红灯并语音播报报警内容;
13.特色打印机小程序:由标签机自身原因,如缺标签/碳带、碳带褶皱等导致的标签复核NG,可手动再次触发打印标签。
通过工业相机将晶圆字符转换为图像信号,传送给图像软件处理系统,根据像素分布和亮度等信息,转变成数字信号。 图像软件处理系统将该字符串与判定字符串进行核对,实时提供字符匹配检测信息和统计数据,实现自动化识别晶圆信息,避免错记、漏记等问题的发生,为产品溯源管理做好准备。